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光学技术的应用(收集5篇)

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光学技术的应用篇1

关键词:激光焊接技术发展

中图分类号:TG456文献标识码:A文章编号:1672-3791(2012)10(c)-0053-01

1激光焊接技术概述

激光焊接技术是激光加工技术的重要内容之一,激光焊接技术国外的研究和应用历史比较长,20世纪90年代欧美国家已经把激光焊接技术应用于工业、农业等行业的加工和生产过程中。随后,我国也对激光加工技术以及激光焊接技术进行了广泛、深入的研究和使用。激光焊接技术是近些年受到广泛关注和重视的焊接技术之一,由于其他焊接技术无法比拟的优势和特点,激光焊接技术的应用价值和发展前景被普遍看好。与其他种类的焊接技术相比,焊接时对于温度的要求比较小,各种温度下都能进行操作,激光焊接设备较简单、搭配灵活,激光焊接的应用范围比较广,能够对各种材料实施焊接,并且能对不同材质的物质进行焊接,焊接效果比较好,激光焊接技术焊接速度快、深度大、变形较小。另外,激光焊接技术对于焊接设备的精度要求比较高,并对操作人员的焊接技术水平要求更高,激光焊接设备的成本较其他焊接设备高出很多。激光焊接技术的诸多要求也阻碍了激光焊接技术的应用。无论是传统的焊接工艺还是新兴的焊接工种,激光焊接技术都能够灵活、自如的进行,且焊接效果比较好,焊接的效率更高。目前已有大量的激光焊接技术生产线投入各个领域的工农业生产过程中。

2我国的激光焊接技术

目前,我国已经形成了激光焊接技术的研究、开发、生产一条龙的体系,激光焊接技术研发中心、激光焊接设备生产单位逐渐形成,这为激光焊接技术的发展和应用水平的提高提供了充足的资源和环境,对于激光焊接技术和设备的发展和更新注入了动力。国内对激光焊接研究主要集中在激光焊接原理及特性、激光焊接控制、激光焊接质量、激光焊接的领域开发、激光焊接与其他领域合作等方面。广泛、多领域、多渠道的激光焊接技术的研究和应用已经为激光焊接技术在我国的发展注入了更大的生命力,对于我国社会主义建设提供了强大的技术支持也是激光焊接技术得以较快发展的重要原因。现阶段,我国对于高强度钢激光焊接技术研究以及应用是激光焊接技术的薄弱环节,也可以说是我国激光焊接技术的空白,在理论和实践层面都缺乏一定的技术支持,技术不成熟直接导致应用领域发展的滞后,相关的高强度钢焊接生产还在延续传统的焊接方式,在焊接质量和使用方面都不能够达到标准,多数高强度钢焊接的设备和仪器主要依赖于进口,我国应该提高在高强度钢激光焊接技术领域的研究和支持力度。

3我国激光焊接技术的发展

3.1复合焊接方面

总体上看,激光焊接技术有其优势和好处,相比传统的焊接技术具有很强的实用性和先进性。但是,无论是那种焊接技术包括激光焊接技术在内,都有各自的缺点和不足之处。对于激光焊接技术来讲,其本身也有许多不足之处。在激光焊接过程中,焊接原材料在受热后熔化、汽化,形成小孔,孔中充满金属蒸汽,金属蒸汽在激光束的作用下形成等离子云。等离子云可以吸收和反射激光,在等离子云的作用下,金属材料只能吸收一部分激光束,降低了激光的使用效率,激光的能量利用率降低,常常原材料形成疏松和裂纹,焊接过程不稳定等问题。单纯的依靠激光焊接技术本身很难彻底解决上述问题。因此,为减少或消除激光焊接的缺点和不足,通过研究,在保持激光焊接技术优点的基础上,把激光热源和其他热源结合使用,在保证激光焊接的优点的基础上,减少或者消除其缺点和不足,把激光与其他热源进行复合焊接。复合热源焊接方式可以有效的解决激光焊接技术的缺点和不足,形成良性、合理利用。

3.2激光焊接技术的应用方面

现阶段,激光焊接技术在应用方面已经覆盖了工业制造、农业生产、航空航天、海洋勘探等生产领域,激光焊接技术的应用范围已经比较广泛。有关于焊接的相关领域都能够看到激光焊接技术的应用价值和贡献。随着激光焊接技术的更新和不断完善、创新,激光焊接技术的应用领域以及应用空间的广度和深度也会随之加深,激光焊接技术的不断完善和提升直接导致激光焊接技术应用领域的不断扩大。在今后的发展过程中,激光焊接技术的应用不只停留于简单的设备和机器,逐渐会向各领域的高、精、尖机械设备方面发展。这也会加大的提高激光焊接技术的技术含量和科技成分,提高激光焊接技术的应用深度和广度。

4结语

激光焊接技术随着科学技术的不断发展也会呈现出快速、全面发展的态势,激光焊接技术由于本身的技术优势和价值其发展前景非常可观。我国通过多年的激光焊接技术的研究与开发,逐步建立了生产、研究、开发相结合的激光焊接发展体制,并在个别的技术环节和应用方面取得了一定的研究成果。相关的激光焊接技术科研成果逐步的应用于工业制造、农业生产、航空航天、海洋勘探等生产领域。

参考文献

[1]梅汉华,肖荣诗,左铁钏.采用填充焊丝激光焊接工艺的研究[J].北京工业大学学报,1996,22(3):38-42.

[2]刘亚林,李长义,吴海树.异种金属激光焊接熔焊区的组织合金化[J].现代口腔医学杂志,2002,16(4):310-312.

[3]关振中.激光加工工艺手册[M].北京:中国计量出版社,1998.

光学技术的应用篇2

一、前言

随着光电子技术的快速发展,其应用越来越深入到社会生活的各个方面。传统的理论教学已经不适合新的教学形式。因此,要打破原有的教学方法,改革原有的人才培养模式,着力提高学生实践能力。项目教学法[1]是以项目为主线,以授课教师为主导,以学生为主体的教学模式。它是将具体项目贯穿于教学始终,以项目的形式引入基本原理[2],在组织课堂教学过程中采用案例教学法注重对基本概念和基本原理的掌握,在进行实践教学过程中以项目和任务为主要形式,为学生提出循序渐进、由表及里的学习方法和途径,提高学生的创新精神与实践能力,为社会培养优秀的应用型人才。

二、基于光电子技术课程的项目教学法的教学思路

在传统的光电子技术教学过程中,以课堂为中心、以光电子技术理论知识点为线索,教师向学生单向讲授理论知识。实践教学环节多采取简单模拟与验证的方式进行,学生的实践能力较差,创新精神薄弱。

为彻底改革上述教学模式上的不足,我们将项目教学法融入光电子技术的实际教学过程中。通过案例分解、项目递进优化、项目完善完成等手段与方法,促使学生主动学习光电技术的基本概念、基本原理,掌握基本公式与基本计算,掌握光电技术的基本应用。在此过程中培养学生认真学习的钻研精神,提高实际光电工程技能。按照项目的实际要求,从原理上进行综合归纳与分析,确立方案。并根据方案进行具体的项目实施,在实施过程中,学生以学习小组的形式,充分发挥每个成员的潜能与素质,通力合作,最终完成项目的任务。

三、基于光电子技术课程的项目教学法的教学流程

1.第一阶段:项目预备阶段。首先,将项目的任务导入课堂教学中。教师在光电子技术课程整体上设计出一个或几个基于光电子技术教学大纲基本要求的科研项目。此科研项目应该基本包括光电子技术的全部基础理论的主要知识点,或者说涵盖光电子技术教材的全部章节的主要内容,并且将项目分解成若干模块,每一个模块可以视为整体项目的子项目。每一个模块应该是光电子技术教材的一个章节或几个章节的内容的高度浓缩,而子项目为与本模块相对应的需要具体解决的问题,其举例说明见表1所示。表中所列的几个子项目,又可以形成一个完整的较大项目:“可实现激光传声摇控即时显示的海底机器人多功能探测系统”。其次,开始制订项目的任务方案。在制订过程中,学生小组成员要积极查阅各种学习资料,并进行详细讨论,深入分析本小组的项目任务。教师必须做出引导,指导学生采用正确的光电原理知识,建立并制订合理的项目计划。

2.第二阶段:项目实施阶段。要培养学生的协同创新思想,强调团队的角色定位能力,确保协同沟通创新能力的培养。首先,需要进行项目分工与角色扮演,各个项目小组成员可以根据自己的兴趣爱好进行分工,并确定好各自所扮演的角色与需要完成的任务,让每一位成员都能参与其中。其次,需要创设情景并提出项目任务,教师可以通过多媒体教学手段,将学习内容与项目紧密结合,激发学生的学习热情。最后,分组执行项目任务,教师根据每位同学的兴趣爱好及自身的能力进行分组,以便在项目任务执行过程中能够更好地发挥优势互补作用。例如:“设计并制作一个激光传声装置”小项目组共有六位同学,有两位同学性格内向,对基本理论知识很扎实,主要负责资料的查阅与原理的理解;另外两个同学对电路比较感兴趣,热衷于电路元器件及电路的搭建与调试;最后两位同学注重整体的把握与项目进度的调整和掌控。他们各有侧重,但又互相协调、通力合作,保证了项目的顺利实施。

教师之间、学生之间、老师与学生之间形成协同创新关系。这时,学习过程已经初步成为人人参与的创造性的实践活动,它注重的不是最终的结果,而是完成项目的全过程。其目的是在“项目优化”过程中把理论与实践教学有机地结合起来,充分发掘出学生的创造潜能,培养学生的自学能力、观察能力、动手能力、科学研究和分析问题能力、协作和互助能力、交际和交流等综合能力[3]。要求学生对每个模块及模块间进行多次的分析、设计与优化,循序渐进,最后圆满完成项目。在项目分解、设计、分析、优化和完成的过程中,可以使原本模糊的理论知识更加清晰,从而加深学生对理论知识的深刻理解,更好地完成实际项目的优化与实际问题的解决。

3.第三阶段:项目完善与总结阶段。在第二阶段结束之后,要求对整体项目进行递进优化,从项目全局角度来分析、优化与提升。学生需要充分理解和掌握项目任务,运用互联网技术对项目成果进行阶段性小结,各个小组之间互相交流讨论,从解决项目任务的关键点着手,完成项目实施工作。在项目实施的过程中进行组内的学习交流,并进一步完善项目任务学习成果。教师在这一阶段主要扮演引导者的角色,确保各小组项目任务的顺利完成。还是以“设计并制作一个激光传声装置”小项目为例。在第二阶段已经初步完成了项目之后,就要对项目结果进行完善与总结,包括电路性能、器件功能、激光调制方式、激光传输效率、项目作品外观及其实用性等等方面;在提升项目作品性能与拓宽光电功能方面下功夫。在顺利完成项目任务后,每一位学生都需要对自身的角色扮演以及项目完成情况进行回顾和总结,通过总结、报告或者主题演讲等方式完成项目成果的交流。最后进行项目评价,评价的形式主要包括学生的个人评价、小组评价以及教师评价三种,通过评价结果对学生的学习成果进行最终的总结。

光学技术的应用篇3

20世纪70年代以来,由于半导体激光器和光纤技术的重要突破,推动了以光纤传感、光纤传输、光盘信息存储与显示、光计算以及光信息处理等技术的蓬勃发展,从深度和广度上促进了光学和电子学及其他相应学科(数学、物理、材料等)之间的相互渗透,形成了一个边缘的研究领域。光电子学一经出现就引起了人们的广泛关注,反过来又进一步促进了光电子学及光电子技术的发展。光电子技术包括光的产生、传输、调制、放大、频率转换和检测以及光信息存储和处理等。因此,可以这么说,现代信息技术的支撑学科是微电子学和光学,光电子学则是由电子学和光学交叉形成的新兴学科,对信息技术的发展起着至关重要的作用。光电子技术是光频段的电子技术,是电子技术与光学技术相结合的产物,光电子技术是光电信息产业的支柱与基础,涉及光电子学、光学、电子学、计算机技术等前沿学科理论,是多学科相互渗透、相互交叉而形成的高新技术学科,其技术广泛应用于光电探测、光通信、光存储、光显示、光处理等高新技术光电信息产业。同时,随着生物医学、生命科学等新兴学科的发展,其中的信息获取手段对光电子技术的依赖程度越来越高,加快了这些学科之间的交叉融合,从而诞生了很多边缘学科,比如生物光子学、光医学等。综上所述,可见光电子技术在现代信息产业技术中的重要地位,因此,光电子技术这门课程不仅是光学工程专业的基础必修课程,也应该作为电子信息工程专业的专业选修课程来开设。

电子信息工程专业的光电子技术课程的基础理论知识包括:光度学基本知识、光辐射传播、光束调制与解调、光辐射探测技术等。其中,光度学基本知识是最基础的内容,包括:电磁波波谱、辐射度学、光度学、热辐射基本定律、激光原理、典型激光器等。光辐射传播包括:光辐射的电磁理论、光波在大气中的传播规律与特性、光波在电光晶体中的传播规律与特性、光波在声光晶体中的传播规律与特性、光波在磁光晶体中的传播规律与特性、光波在光纤波导中的传播规律与特性、光波在水中的传播特性、光波在非线性介质中的传播等。光度学基本知识和光辐射传播这两个基础内容可以说是光电子技术课程基础中的基础,而对于电子信息工程专业的学生来说,这些知识点比较抽象,为了便于该专业学生对光电知识的接受和激发他们的兴趣,因此,在课堂上有必要多花时间重点讲解这部分的知识点,同时在制作PPT教案时尽可能使用图片或动画描述一些原理性的知识。

比如:在讲解激光是如何产生的时候,可制作动画描述自发辐射、受激吸收、受激辐射的原理;在讲解激光器的结构和工作原理时,可制作多色图片对激光在各种光学谐振腔中的受激放大过程进行描述;在介绍各种典型的激光器时,最好收集到它们的实物照片进行讲解;在讲解光波在各种光学晶体中的传播特性与规律时,最好能制作三维立体的图片描述光学晶体的各向异性的特性,相应的公式表达尽量简洁化,然后结合动画描述光波在其中传播时所发生的变化。光束的调制、扫描和解调技术的理论教学内容包括:光束调制的基本原理、电光调制技术、声光调制技术、磁光调制技术、直接调制技术、光束机械扫描技术、光束电光扫描技术、光束声光扫描技术、空间光调制器等。这些知识点的理论基础都是“光辐射在光学晶体中的传播规律和特性。其中光束调制的基本原理移植了微电子学中微波调制中的很多概念,电子信息工程专业的学生易于理解,但是光束调制和扫描的实现技术中,除了需要使用各种光学晶体以外,还需要使用半波片、全波片、起偏器、检偏器共同组成一个系统完成光束的调制和扫描。这些光学器件对于没有光学工程基础的电子信息工程专业的学生来说比较陌生,因此,在讲解过程中应该通过动画或图片等手段形象地描绘线偏振光、椭圆偏振光、圆偏振光等基本光学概念,并借用相关的光学参考资料对这些光学器件的功能和原理进行简单介绍。

只有这样,才有利于电子信息工程专业的学生深刻理解光束的调制、扫描、解调等技术。光辐射探测技术的理论教学内容主要包括:光电探测的物理效应、光电探测器的性能参数、光电探测器的噪声、光电导探测器—光敏电阻、PN结光伏探测器的工作模式、硅光探测器、光电二极管、光热探测器、直接光电探测系统、光频外差探测的基本原理等。由于电子信息工程专业的学生已经具备了较好的半导体器件理论基础知识,而光电子器件本身也属于半导体器件,因此学生只要掌握了爱因斯坦的光电效应原理,就很容易理解各种光电子器件的工作原理、性能特点及应用领域。该部分所介绍的各种光电半导体器件很可能会在学生将来从事信息产业技术的相关工作中用到,也可能会在将来某些学生跨到光电信息或光学工程相关专业进一步深造时从事相关科研课题研究时用到,比如:PN结光伏探测器、光敏电阻、光电二极管、光电三极管等,都会经常用到。因此,建议在理论教学过程中,除了结合图片等多媒体教学手段介绍相关光电子器件的工作原理外,最好能够给学生展示光电子器件的实物,以便给学生一些感官认识。电子信息工程专业光电子技术课程的系统方面的知识点包括:光电成像系统、光电显示系统等。

其中,光电成像系统的基本器件是电荷耦合摄像器件(CCD),CMOS摄像器件和电荷注入器件(CID)。目前,CCD摄像器件的应用最为成熟和广泛,主要包括线阵CCD和面阵CCD等,其原理基础仍然是光电半导体器件和两相或三相电极电路的结合。因此,教学中应结合脉冲数字电路知识重点讲解CCD的原理和特点。光电成像系统的内容包括:系统基本结构、基本参数、红外成像系统、红外成像中的信号处理及综合特性等。其中红外成像系统涉及很多应用光学方面的知识,这对没有应用光学基础知识的电子信息工程专业的学生来说比较陌生,而且属于光学工程专业学生的研究方向之一,因此,这部分内容简单介绍即可。而红外成像中的信号处理都涉及电子电路方面的知识,属于电子信息工程专业的范畴,这部分内容可以重点讲解。光电显示系统包括阴极射线管原理、液晶显示原理、等离子体显示原理、电致发光显示原理及多色激光显示原理等,其中前三类显示技术的应用已很广泛和成熟,可以重点讲解,而后两类显示技术比较前沿,可以简单介绍,以便让电子信息工程专业的学生了解当今光电显示技术的发展趋势。电子信息工程专业光电子技术课程应用方面的内容包括:光纤通信、激光雷达、激光制导、红外遥感、红外跟踪制导、光纤传感技术等。这些应用技术可以分别举一个相应的实际应用系统进行介绍,让学生体会到光电子技术的重要性和广泛性,激发他们对这门技术的兴趣。#p#分页标题#e#

对于电子信息工程本科专业而言,毕竟培养的学生不属于光学工程或光电子技术领域的人才,而且电子信息工程专业已有很多属于本专业的实验课程及课程设计,笔者认为光电子技术课程的实验教学应根据该专业学生的理论基础和将来他们最可能需要的工程能力而设置。在该课程中,各种光电子器件和原理、功能及应用最易于电子信息工程专业的学生理解,而且也是电子信息工程师应该具备的基本知识,因此,笔者建议开设一些光电子器件的相关实验课。由于光电子技术课程的总学时设置为48学时,所以建议理论教学为40学时,8学时为实验教学(共4个实验)。

光学技术的应用篇4

关键词:光学技术;数字电影放映;应用

进入数字电影时代以来,传统胶片电影的放映系统已经逐步淡出了电影舞台,影院工作者们曾经轻车熟路的放映胶片电影的技术也几乎没有用处了,因此,要了解数字电影放映系统,发展完善其放映技术,就必须深入开展数字电影放映系统工作原理和程序的研究。21世纪以来,光学技术的应用范围日益增加,研究和探讨光学技术在电影放映系统的应用不但可以了解光学技术在该领域的应用实效,而且可以增加人们对数字电影放映系统的知识累积,促进电影行业的稳健发展。

一、光学技术

光学,即研究光的科学,它的主要研究对象为光的产生、本质以及光与物质的相互作用。虽然光学是一门专门的学科,但是就光学的发展性来说,光学及自身工程学的应用领域已经发生了很大的变化。光学技术是一种应用极为广泛的载体,几乎所有大型系统都需要发挥其载体作用,信息技术、医疗行业、能源应用等诸多领域都需要光学技术的支持和传载。

二、数字电影放映系统

数字电影系统最重要的部分就是放映系统,它是决定数字电影放映实际效果的最终技术关口。绝大多数观众认为只有好的电影放映机加上最原始的拷贝电影,电影画面才能栩栩如生。然而,传统的胶片电影因为放映次数的增加,质量会随之下降,数字电影的效果不如将原始胶片电影进行拷贝的效果,但是他们也不得不承认数字电影的质量不会随着放映次数的增多而有所改变。

虽然传统胶片电影已经淡出电影舞台,但是从电影院发展放映技术的历程来看,数字电影放映系统的工作原理和使用的技术同传统的胶片电影的放映技术之间并不存在不可逾越的差距。同传统胶片电影相比,数字电影放映方式有所变化的是:胶片电影的放映机被数字电影的放映机和服务器所取代,卫星、光纤、硬盘等数字载体取代了传统的胶片拷贝。

三、光学技术在数字电影放映系统中的应用

(一)光学原理在数字电影成像中的应用

1.光学技术在数字电影投影成像中的应用

现今使用最为广泛的电影投影技术主要有数字光处理、直接光放大影像以及液晶显示三种,发展最为成熟的是数字光处理技术。数字光处理技术的关键部分是数字微镜器件[2]。它的工作原理:通过集合半导体晶片的“偶极”效应来驱使电路内部的微小动量围绕某一固定的轴进行偏转,以达到使在转向结构中位置相对固定的所有微镜都发生有规律的偏转的目的,在这种情况下,如果能够对电场电路进行控制,这些微镜就能按照电路控制进行预定的方向偏转,而照在微镜上面的光线也会随之反射在不同方向。把其中同一方向的光线经过镜头投射在银幕上,就形成了微镜在银幕上组成的图像了。

2.光学技术在数字电影彩色成像中的应用

光学技术应用在投影成像中虽然能得到图像,但是要得到完整的彩色图像,必须要将一个过滤光波的彩色轮应用在照射至靶面的光路中,如图1,2所示。彩色轮是由扇形的红色、绿色和蓝色的滤光片组成,它的旋转频率为60Hz,一秒内能刷出180个彩场。在该结构中,数字处理技术在确定彩色模式的顺序后,其被分解为RGB的数据会按照对应顺序存储入DMD。随后,彩色轮接收到聚光系统聚集的白光后,会将白光以单色光的形式照射到DMD的表面,随着彩色轮的旋转,红光、绿光和蓝光都会依序投射到DMD表面(如图2所示)。因为视频信号同彩色轮是同步的,因此当红光投射到DMD表面时,微镜就会根据红光的强度和位置等信息而决定“开启”状态,其他两种光线也是如此。DMD的图像被投射到屏幕以后就会形成方形的像素,这些像素就构成了数字投影的图像。人眼的“暂留视觉”将红光、绿光和蓝光的信息进行综合以后,就能得到全部的彩色图像了。微镜在“开启”状态(-10°)时,投射和聚焦的镜头就会将微镜反射出来的光线投射到屏幕上;相反,在“关闭”状态时,吸收表面就会将反射出来的光线吸收干净,从而消除无效光线干扰图像的可能性(如图1所示)。

(二)光学技术在终端投影镜头中的应用

1.光学技术在镜头工作环境中的应用

任何使用光学技术进行投影的系统,都必须有关于工作环境参数的具体要求,如镜头焦距、投影孔直径和安装尺寸等[1]。数字电影的放映镜头需要考虑的工作参数则更多,如投射靶面的尺寸、靶面反射彩色轮单色光线的光程、聚合镜片的有效厚度、分离色彩光线、镜头鉴别靶面像素的极限值等等。同时,在实际操作过程中,一旦图像亮度超过5000流明,就要考虑氙灯使用时产生的过高温度,提高镜头耐高温的水平。

2.确定镜头焦距

按我国目前使用最为广泛的BARCO公司出产的有2K像素水平的DP100的机型来说,依据以往设计和使用放映电影镜头的经验,影院都是在固定距离下进行放映,因此固定镜头的设计符合绝大部分影院的要求。从上面提到的DP100来看,有35mm-41mm,42mm-52mm,40mm-67mm以及70mm-95mm这几种从35mm到95mm都有覆盖的焦距镜头可供选择,以最少的镜头达到了大多数使用者的要求。然而,虽然变焦镜头的种类较少,但是其价格相当昂贵,增加了使用者的消费成本。所以,通过自行设计变焦镜头,我们生产出了从40mm到120mm的10钟变焦镜头,在涵盖范围同上述机型基本一致的前提下,大大降低了使用者的采购成本。

3.确定光学镜头后工作的距离

要确定后工作距离有两种方法,第一种就是对放映机的光学引擎进行实际测量,但是因为光学引擎作为放映机的关键部分被存放在一个密封的地方,我们很难对其进行实际测量[3];第二种方法则是在了解靶面的长和宽以及分离色光和聚合镜片的形式后,根据逆向运算其对应比例得出相近的后工作距离的数值。这种运算方式能够实现,最主要的原因是分离色光和聚合镜片的形式都是固定的,其计算尺寸也是根据光束的尺寸而进行比例缩放的,在整个逆向计算过程中,唯一的可变因素就是分离红光和绿光的角度差异,而这个差异可以从放映机的外型结构获得,无需进入机器内部,相对第一种方法更为方便。

4.确定镜头结构

所有对光学技术了解透彻的工程师们都清楚的知道,当电影放映镜头的后工作距离同焦距的比例在0.5-0.7的范围内时,镜头的结构设计比较简单。然而,一旦镜头焦距达到40mm,两者之间的比例接近于3,这种情况下就只能选择远心光路的镜头结构。因为远心光路的镜头孔径相对较小,其设计难度较大,再加上要将镜头要承受照度为6000流明时的高温纳入考虑范围,因此,只能将远心光路进行权全分离式的改进,以期使改进后的结构满足以上所有要求。

(三)像差

使用光学技术形成的投像画面,画质效果会受到光学像差的影响,电影放映机也不例外[3]。光源、分离色光、靶面投射、聚合镜片以及投射镜头都会影响最终放映图像的效果,影响观众观看影片的效果。因此,研究投影像差、根据光学原理减少像差就变得极其重要。

四、结语

数字电影是以数码技术为工具进行拍摄、传播和保留的具有广大观众源的新型电影,光学技术对数字电影放映系统领域的发展有着至关重要的作用。了解光学技术在数字电影系统中的应用范围和应用原理是符合社会需要的具有实际意义的课题,它不但能满足学者们研究光学技术领域的要求,而且能为人们不断发展和完善数字电影放映系统提供技术支持和保障。

参考文献:

[1]陈琛,左治君,李臣友.数字电影放映系统中的光学技术[J].现代电影技术,2007(10):39-43.

[2]胡威捷.光学技术的新概念及其发展趋势的探讨[J].光学技术,2011(06):11-14.

[3]邹静娴.数字光处理(DLP)投影系统[J].电视技术,2003(1):4-8.

光学技术的应用篇5

关键词:半导体光刻技术;PSM技术;离子束曝光技术;极紫外光刻技术

中图分类号:TN305文献标识码:A文章编号:1009-2374(2009)06-0089-02

随着芯片集成度的提高,对光刻技术提出了越来越高的要求。在80年代,普遍认为光学光刻技术所能达到的极限分辨率为0.5,但是随着一些新技术的应用和发展,包括光源、成像透镜、光致抗蚀剂、分步扫描技术以及光刻分辨率增强技术(RET)的发展,使其光刻极限已推进到目前的0.1以下。尽管有人对光学光刻的潜力充满怀疑,但其仍以顽强的生命力,不断突破所谓的极限分辨率,是目前所采用的主流光刻技术。

一、推动光刻技术和设备发展的动力

经济利益是Si片直径由200mm向300mm转移的主要因素。300mm的Si片出片率是200mm的215倍。300mm工厂的投资为15~30亿美元,其中约75%的资金用于设备投资,因此用户要求设备能向下延伸3~4代。300mm片径是从180nm技术节点切入的,这就要求设备在150、130nm,甚至100nm仍可使用。

为了推进300mmSi片的大生产,设备厂商在几年前就着手解决这方面的问题。Canon于1995年着手300mm曝光机,推出了EX3L和I5L步进机,于1997~1998年提供日本半导体超前边缘技术(SELETE)集团使用,ASML公司的300mm步进扫描曝光机使用193nm波长,型号为FPA2500,也于1999年提供给SELETE集团使用。现在Canon的第三代300mm曝光机的混合匹配曝光能力已经达到(

曝光是芯片制造中最关键的制造工艺,由于光学曝光技术的不断创新,一再突破人们预期的极限,使之成为当前曝光的主流技术。1997年美国GCA公司推出了第一台分布重复投影曝光机,被视为曝光技术的一大里程碑,1991年美国SVG公司推出了步进扫描曝光机,它集分布投影曝光机的高分辨率和扫描投影机的大视场、高效率于一身,更适合(

二、光刻技术发展及进展情况

(一)PSM技术

实现单个独立的小尺寸图形的转移并不是很困难的事,困难的是很多小尺寸图形聚集在一起时的图形转移,因为在这种情况下光源的散射或者干涉将会造成图形的畸变。解决这一难题的办法就是采用PSM技术。绝大多数在半导体工艺中使用的PSM版都是使用石英玻璃加工制造的。试验证明,通过使用PSM技术,最小的特征尺寸可以达到曝光波长的1/5,这种技术也被称为亚波长光刻技术。

(二)离子束曝光技术

同电子束曝光技术一样,离子束曝光技术的分辨率也远远超过了传统的光学曝光技术。离子束曝光技术同样可以应用于直写式曝光和投影式曝光。离子束曝光的优点在于在进行曝光的同时,可以进行腐蚀工艺的操作。这样将大大节省工艺的操作步骤,简化工艺流程。然而离子束曝光的效率特别低,不可能应用于大规模的工业生产中。这种技术目前最可能的应用是掩模版制造,也可以应用于针对器件缺陷的检验和修复。

(三)极紫外光刻技术(EUV)

下一代可能实现的亚011μm图形转移光刻技术就是极紫外光刻技术,这种曝光光源的波长在11~14nm。波长在1~50nm的光波覆盖紫外线和X射线区域。所以使用这一波长范围的曝光技术也被称为极紫外曝光或者软X射线曝光或称为真空紫外曝光。极紫外曝光的原理主要是利用曝光光源的波长从而降低光学系统的数值孔径,进而提高光刻技术的分辨率。但就目前所知的材料而言,没有合适的材料能够作为极紫外曝光光学系统的透镜,因为目前的材料对短波长光源的吸收效应都非常强,极紫外光刻技术也必须基于光学系统才能实现。另外,极紫外光刻的光源目前正在进行研发,最有可能成为这种技术使用的光源是激光泵浦的氙等离子体光源。而极紫外光刻技术需要的掩模版还需要进行多层金属的涂覆才能使用。

传统的光学光刻技术处于不断的发展之中,同时结合了一些分辨率增强技术和改善工作焦深的新方法,比如相移掩模(PSM)技术、离轴照明(OAI)技术、光学邻近效应校正(OPC)、瞳孔滤波等,使得现有的光学光刻依然保持着活力。但由于始终存在着焦深和分辨率的矛盾,使得其物理极限客观存在。而下一代的光刻技术尽管取得了一些突破,但由于费用、生产率、实现性等问题,投入大规模使用尚待时日。这些技术目前处于替代光学光刻的“候选者”地位,在未来具体采用哪一种光刻技术,取决于它们的技术成熟程度、设备成本、生产效率等,目前的形式还不明朗。此外,目前还出现了一些新的光刻技术和方法,如干涉光刻、成像干涉光刻、全息光刻、原子光刻等,对现有的光刻技术形成了有益的补充和推动。

参考文献

[1]莫大康.光刻技术最新进展[J].电子产品世界,2004,(11).

[2]袁琼雁,王向朝,施伟杰,李小平.浸没式光刻技术的研究进展[J].激光与光电子学进展,2006,(8).